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出展メーカー情報

シグマ光機株式会社

小間番号 40
展示テーマ

ナノステージ、ピエゾアシストステージ、観察系
主な出展製品

  1. NFSステージ

    5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。分解能1nmからラインナップしております。

    NFSステージ製品画像

    NFSステージ

    NFSステージ製品画像

    NFSステージ

    ピエゾアシストステージ製品画像

    ピエゾアシストステージ

  2. ピエゾアシストステージ

    手動ステージ本体にピエゾアシスト機構を追加することで20nm以下の微動調整を行うことができるX軸ステージです。高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。ステージサイズ25x25、40x40、60x60mmをラインナップしています。

    ピエゾアシストステージ製品画像

    ピエゾアシストステージ
見どころ

  • NFSステージ

    • ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。

    • ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。

    • フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラをご用意しています。

    ナノステージ製品画像

    ナノステージ

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  • ピエゾアシストステージ

    高分解能での位置調整が必要な手動ステージユニットやシステムに最適です。
    ステージサイズ25x25、40x40、60x60、65×65mmをラインナップしています。

    ● ピエゾアシストステージ専用コントローラは設定は不要、手軽に微動調整をすることができます。ダイヤル式ノブの微動調整は、マイクロメータヘッドとの併用でも抵抗なく使用することができます

    ピエゾアシストステージコントローラ

    テーブルサイズ表
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